6502200

ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА ПЕРИОДИЧЕСКИХ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТОЛБИКОВЫХ СТРУКТУР АНОДНОГО ОКСИДА ТИТАНА МЕТОДОМ ИК СПЕКТРОСКОПИИ

В. Ф. Сурганов^а, А. М. Мозалев^а, Н. И. Татаренко^б, В. А. Ласточкина^в*

УДК 543.42

^аБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

^бНаучно-исследовательский институт точных приборов, Москва, Россия

^вИнститут молекулярной и атомной физики НАН Беларуси,

220072, Минск, просп. Ф. Скорины, 70

(Поступила 13 марта 1997) Экспериментальные образцы представляли собой периодические наноразмерные столбиковые структуры анодного оксида Ti (средний размер » 60 нм), полученные анодированием двухслойной тонкопленочной композиции Ti—Al в растворе щавелевой кислоты с последующим вакуумным отжигом. Сформированные структуры были исследованы методом сканирующей электронной микроскопии и отражательной ИК спектроскопии. Было установлено, что наноразмерные столбики состоят преимущественно из квазиаморфной двуокиси Ti в виде рутилa и анатаза с минимальными включениями Ti₂O₃ и TiO. Вакуумный отжиг приводит к уменьшению содержания TiO₂ и росту включений Ti₂O₃ и TiO в составе оксидных столбиков. Происходящие изменения характеризуют процесс растворения кислорода из состава столбиковых структур в остаточной пленке металлического Ti.