РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ДИСПЕРСНОГО SiO2 И ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
В. Я. Дегодаа*, В.М. Огенкоа, Г. В. Веснаб, С. Н. Науменкоб
УДК 535.37
аИнститут химии поверхности НАН Украины,
252650, Киев, просп. Науки, 31
бКиевский университет им. Тараса Шевченко
(Поступила 27 января 1997)
Проведено сравнение спектров
свечения (фото- и рентгенолюминесценции) пористого кремния и дисперсного
SiO2, который по физическим характеристикам наиболее близок
к окисным пленкам на пористом кремнии. Фотолюминесценция пористого кремния
исследовалась с помощью люминесцентного (возбуждение азотным лазером) и
металлографического микроскопов. Установлено, что природа центров свечения
пористого кремния и дисперсного SiO2 идентична. Пористый слой
на монокристаллическом кремнии обеспечивает создание сильноразветвленной
поверхности окисной пленки. Центры свечения находятся на ее внутренней
(со стороны пористого кремния) поверхности.