СПЕКТР ОПТИЧЕСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ КРЕМНИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО ВНУТРЕННИЕ УПРУГИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

А. А. Патрина, М. И. Тарасикб*

УДК 625.315;535.37

а Институт электроники политехники Кошалинскей, Польша

б Белорусский государственный университет,

220050, Минск, просп. Ф. Скорины, 4

(Поступила 23 мая 1997)
Рассчитан спектр коэффициента оптического поглощения в кремнии в присутствии внутренних (упругих, механических) напряжений. Учтено расщепление зон, включая весовой фактор расщепленных подзон. Получено простое уравнение для коэффициента оптического поглощения путем введения поправки, отражающей реальное соотношение между энергией световых кван-тов и фактической шириной запрещенной зоны. Полученные результаты могут быть использованы на практике для оценки внутренних напряжений в кремниевых кристаллах и структурах, а также для диагностики рекомбинационных параметров несовершенного кремния.

Ключевые слова: кремний, внутренние упругие напряжения, коэффициент оптического поглощения.