ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА ПЕРИОДИЧЕСКИХ НАНОРАЗМЕРНЫХ
СТОЛБИКОВЫХ СТРУКТУР АНОДНОГО ОКСИДА ТАНТАЛА
МЕТОДОМ ИК СПЕКТРОСКОПИИ

В. Ф. Сурганова, А. М. Мозалева, В. А. Ласточкинаб*

УДК 543.42
а Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
б Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси,
220072, Минск, просп. Ф. Скорины, 70
(Поступила 14 августа 1997)
Методами сканирующей электронной микроскопии и отражательной ИК спектроскопии исследо-ваны периодические наноразмерные столбиковые структуры анодного оксида тантала (АОТ), сформированные анодированием в различных режимах двухслойной тонкопленочной композиции Та—Al в растворе щавелевой кислоты, а также пленки плотного анодного оксида и термического оксида тантала. Установлено, что наноразмерные столбики АОТ состоят по меньшей мере из трех известных окисных фаз из системы Та—О: ТаО, ТаО2 и Та2О5. Структура кислородных со-единений тантала аморфная с ближним порядком (включениями) рутила ТаО2, ромбической Та2О5, а также a- и b-модификаций пятиокиси тантала. Пленки плотного АОТ отличаются более разу-порядоченной структурой кислородных соединений тантала и повышенным относительным со-держанием аморфной пятиокиси тантала. Пленки термического АОТ имеют наиболее упорядо-ченную структуру всех входящих в их состав окисных фаз и повышенное относительное содержа-ние a- и b-Та2О5. Ключевые слова: ИК спектроскопия, анодирование, анодный оксид, тантал, тонкая пленка, нано-размерная структура.