ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПРОЦЕССОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕМЕНТОВ В КОНТАКТНЫХ СЛОЯХ НА InP

Э. В. Запорожец, С. А. Малышев, Е. А. Тявловская*

УДК 621.382.002

Институт электроники НАН Беларуси,

220090, Минск, Логойский тракт, 22

(Поступила 21 октября 1997)
Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведено исследование взаимодействия контактных золотосодержащих слоев и фосфида индия в процессе термического вжигания. Определена зависимость глубины слоя InP, вступившего во взаимодействие с металлом контакта, от типа легирующей примеси и толщины слоя золота.