|
ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
|
СПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМЫ СИЛЬНОТОЧНОГО
ДИФФУЗНОГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ Не/Аr/СF2Сl2(ССl4)
А. К. Шуаибов
УДК 539.186;537.521
Ужгородский государственный университет, Украина,
294000, Ужгород, ул. Пидгирна, 46
(Поступила 5 января 1998)
Исследованы обзорные спектры излучения в области 190—600 нм, временные
и ресурсные характеристики поперечного наносекундного разряда в смесях
Не/Аr/СF2Сl2(ССl4) при давлении 10—100
кПа. В спектрах излучения обнаружены возбужденные продукты распада фреонов:
С2(А—Х), СN(В—Х), Сl2*, С*,
Сl*, Сl+* и излучение на l =
193 нм АrF. Наиболее интенсивным было излучение на l
= 258 нм Сl2* и l =
193 нм АrF. Разряд на смеси Не/Аr/СF2Сl2 является
многоволновым источником излучения с l=258 нм
Сl2*; 193 нм АrF и, вероятно, 175 нм АrСl. Он представляет
интерес для применений в импульсной фотометрии УФ—ВУФ диапазона. Длительность
излучения на переходах Сl2*, АrF, АrI, СlI, СlII
в разряде на смеси Аr/СF2Сl2 (Р = = 10—20 кПа) составляла
200—300 нс. При добавке Не и увеличении давления до 100 кПа длительность
излучения уменьшалась в 1.5—2 раза. Рассмотрены основные механизмы образования
молекул Сl2 , АrF и СN(В) в плазме поперечного разряда.
Ключевые слова: плазма, разряд, аргон, фреоны.