ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ


РЕНТГЕНОВСКИЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ КАК СРЕДСТВА СВЕРХПРЕЦИЗИОННОЙ МЕТРОЛОГИИ (ОБЗОР)

В. Н. Ильин*, Н. А. Кобец, С. В. Лешков

УДК 539.21:621.383

Институт электроники НАН Беларуси,

220841, Минск, Логойский тракт, 22

(Поступила 3 апреля 1998)
В обзоре рассмотрено современное состояние исследований и разработок в области рентге-новской интерферометрии и ее возможного использования для фиксации и измерения нанометрических смещений микрообъектов. Приведены основные физические модели, применяемые для получения и исследования интерференции рентгеновских волн и муаровых картин.

Ключевые слова: рентген, интерференция, дифракция, модель, моно- и поликристаллы, коге-рентные пучки, муар.