690658

ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ В ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ N₂/CO₂/Hе

В. В. Ажаронок^а*, И. И. Филатова ^а, В. Д. Шиманович ^а, Л. Н. Орлов ^б

УДК 537.523

^{а Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси,

220072, Минск, просп. Ф. Скорины, 70; e-mail: azharonok@imaph.bas-net.by
^бИнститут физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси, Минск

(Поступила 21 мая 2002)

Изучены оптические спектры излучения и пространственная структура планарного высокочастотного емкостного разряда в смесях газов N₂/CO₂/Hе в зависимости от частоты возбуждения, тока разряда, давления и химического состава смеси.

Ключевые слова: высокочастотный емкостной разряд, молекулярная плазма, спектр излучения, пространственная структура разряда.}