ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

ИЗЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЫ ПОПЕРЕЧНОГО РАЗРЯДА НА СМЕСИ ГЕЛИЙ—КРИПТОН—ЭЛЕГАЗ

А. К. Шуаибов *, А. И. Миня, Л. Л. Шимон

УДК 539.186.537.521

Ужгородский национальный университет, Украина,
88000, Ужгород, ул. Пидгирна, 46; e-mail:ishev@univ.uzhgorod.ua

(Поступила 3 апреля 2002)

Проведено спектроскопическое исследование деградации активной среды импульсно-периодического KrF-излучателя на смеси He/Kr/SF6 (Р = 10—150 кПа) с накачкой поперечным объемным разрядом. Исследованы спектры излучения плазмы в диапазоне 200—620 нм на разных стадиях деградации рабочей смеси и динамика излучения инертных газов и продуктов распада молекул SF6 в плазме. Показано, что при количестве разрядных импульсов ³ 104 наблюдается достаточно эффективное образование возбужденных молекул серы, которые распадаются с излучением в спектральной области 260—550 нм, что может быть использовано для разработки широкополосной лампы на системе полос KrF(B—X; D—X), S2(B—X) и S2(f—a).

Ключевые слова: поперечный разряд, активная среда лазера, возбужденная молекула серы, широкополосная лампа.