ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ СИНТЕЗА ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ НИТРИДТИТАНОВЫХ
ПОКРЫТИЙ НА ИХ ОПТИЧЕСКИЕ И ЦВЕТОВЫЕ ПАРАМЕТРЫ
В. А. Агеев*, А.К. Вершина
УДК 621.793.1:666.1.056
Физико-технический институт НАН Беларуси,
220141, Минск, ул. Жодинская, 4
(Поступила 28 октября 1996)
Рассчитаны оптические и цветовые
параметры нитридтитановых покрытий, осаждаемых из несепарированного и сепарированного
от макрочастиц потоков плазмы вакуумной дуги при варьировании режимов напыления.