МОНОХРОМАТИЗАЦИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

А. П. Бурмаков, А. А. Лабуда*, Н. Н. Никифоренко

УДК 621.382.002

Белорусский государственный университет,

220050, Минск, просп. Ф. Скорины, 4

(Поступила 14 апреля 1997)
Рассмотрена проблема и отработаны методики создания средств монохроматизации оптического излучения с оптимальными технико-экономическими параметрами для осуществления спектральных способов контроля различных вакуумно-плазменных технологических процессов нанесения и травления пленочных покрытий.

Ключевые слова: плазменная технология, спектральный контроль, светофильтр, пленка, покрытие.