|
ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
|
КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ ПЛАЗМОПОЛИМЕРИЗОВАННОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ
МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ
Ю. Д. Хамчукова*, В. В. Клубовича, А. А. Литвинова,
С. Н. Шашковб
УДК 535.375.5
аИнститут технической акустики НАН Беларуси,
210023, Витебск, просп. Людникова, 13
бБелорусский государственный университет, Минск
(Поступила 24 декабря 1997)
Методами масс-спектрометрии и колебательной спектроскопии исследованы
состав и структура плазмополимеризованных на поверхности монокристалла
кремния покрытий. Установлено, что покрытие со стороны поверхности представляет
собой набор упорядоченных и неупорядоченных областей из разветвленных цепей
галогеноуглеродов и галогеноуглеводородов. Значительная толщина переходного
слоя покрытие—подложка содержит карбид кремния и растворенный в углероде
азот. Основную массу покрытия составляет аморфный углерод. В массе покрытия
присутствуют адсорбированные газы, блокирующие химически активные центры.
Обсуждаются особенности регистрации колебательных спектров, структура покрытия,
отличия в ней по глубине, разница между структурой покрытия и полимерной
пленки, старение материала полимера.
Ключевые слова: колебательные спектры, плазмополимеризованное
покрытие, элементный состав, фазовый состав.