|
ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
|
ОСОБЕННОСТИ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ХИМИЧЕСКОГО
ТРАВЛЕНИЯ В HF**
В. А. Макараа, Н. С. Болтовецб, О. В. Вакуленкоа,
А. И. Даценкоа*,
С. Н. Науменкоа, Т. В. Остапчука, О. В. Руденкоа
УДК 535.73:62-405.8
аКиевский университет им. Тараса Шевченко, Украина,
252127, Киев, просп. акад. Глушкова, 6
бНаучно-исследовательский институт "Орион" НАН Украины, Киев
(Поступила 28 января 1998)
Исследовано влияние химической обработки в HF образцов пористого кремния
на фотолюминесценцию и ее эволюцию во времени при хранении образца на воздухе.
Показано, что результат воздействия HF на параметры свечения зависит от
продолжительности обработки и начальной интенсивности фотолюминесценции
образца. Установлено, что химическое травление в HF ускоряет рост интегральной
интенсивности излучения при хранении образца на воздухе. Эволюция спектра
фотолюминесценции при старении образца на воздухе после химического травления
может быть объяснена в рамках квантово-размерной модели свечения пористого
кремния.
Ключевые слова: пористый кремний, фотолюминесценция, химическое
травление, атмосферное воздействие.
** Доложено на осенней конференции
Общества материаловедения (MRS) 1—5 декабря 1997 г., Бостон, США