|
ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
|
РЕНТГЕНОВСКИЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ КАК СРЕДСТВА СВЕРХПРЕЦИЗИОННОЙ МЕТРОЛОГИИ
(ОБЗОР)
В. Н. Ильин*, Н. А. Кобец, С. В. Лешков
УДК 539.21:621.383
Институт электроники НАН Беларуси,
220841, Минск, Логойский тракт, 22
(Поступила 3 апреля 1998)
В обзоре рассмотрено современное состояние исследований и разработок
в области рентге-новской интерферометрии и ее возможного использования
для фиксации и измерения нанометрических смещений микрообъектов. Приведены
основные физические модели, применяемые для получения и исследования интерференции
рентгеновских волн и муаровых картин.
Ключевые слова: рентген, интерференция, дифракция, модель,
моно- и поликристаллы, коге-рентные пучки, муар.