С использованием метода оптической эмиссионной спектроскопии исследованы динамика развития и “погасания” пульсирующего СВЧ разряда, его временная нестабильность, диапазоны устойчивой работы по давлению СВЧ плазмотрона резонаторного типа на базе кольцевого волноводно-щелевого аппликатора. Установлено, что при оптимальных для пробоя давлениях CF₄ и его смесей с кислородом наблюдается практически полная невоспроизводимость сигналов компонент эмиссионного спектра (в частности, линии FI 703.7 нм) от импульса к импульсу разряда. Разряд в кислороде в исследованном диапазоне давлений и мощностей характеризуется хорошей повторяемостью формы импульсов линии эмиссионного спектра (рассмотрено на примере линии OI 844.6 нм).

Ключевые слова: плазма, СВЧ разряд, стабильность, диагностика, плазмотрон.