|
ФОРМИРОВАНИЕ И ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННОГО В ЙОДСОДЕРЖАЩИХ ЭЛЕКТРОЛИТАХ**
Т. В. Волошина а, Т. Н. Заварицкая б, И. В. Кавецкая а*, В. А. Караванский в, Д. А. Ромашов в
УДК 538.958:548
а
Воронежский государственный университет, Россия,
(Поступила 4 января 2001)
Впервые получены и исследованы образцы пористого кремния (ПК) методом анодирования в модифицированном йодсодержащем электролите. Показано, что добавление йода в электролит при неизменных других условиях существенно влияет на формирование ПК и приводит к возникновению фотолюминесценции (ФЛ) у слоев ПК на сильнолегированных подложках кремния n+-типа. Исследована морфология поверхности полученных образцов ПК и обнаружено заметное уменьшение масштаба неоднородности по сравнению с нелюминесцирующим ПК, полученным без йода при тех же условиях. Изучение зависимости спектральных свойств ФЛ от плотности тока анодирования показало, что с увеличением плотности тока максимум спектра ФЛ смещается в коротковолновую область и уменьшается полуширина спектра ФЛ.
**Доложено на Международной конференции по люминесценции, 17—19 октября 2001 г., Москва, Россия.