Исследованы спектры люминесценции тонких пленок Y₂O₃, отожженных на воздухе и в вакууме. Установлено, что наличие кислородных вакансий приводит к уменьшению интенсивности полосы люминесценции с максимумом 3.4 эВ. В (связанной со свечением автолокализованных экситонов Френкеля, описывающих возбужденное состояние молекулярного иона (YO₆)^9–) и полосы люминесценции с максимумом 2.9 эВ (связанной с анионной подрешеткой). Выявлено, что кислородные вакансии приводят также к уменьшению интенсивности люминесценции в полосах 2.6, 2.35, 2.1, 1.9 и 1.7 эВ, которые связаны с излучательной рекомбинацией в донорно-акцепторных парах Y³⁺—O^2–. Вычислены расстояния между донорными и акцепторными центрами.