ЖУРНАЛ ПРИКЛАДНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

ОПТИЧЕСКИЕ РАЗМЕРНЫЕ ЯВЛЕНИЯ В ТОНКИХ СЛОЯХ ЗОЛОТА И АТОМАРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

С. А. Коваленко, М. П. Лисица*

УДК 535.323:539.216

Институт физики полупроводников НАН Украины,
03650, Киев, просп. Науки, 41; e-mail: lisitsa@isp.kiev.ua

 

(Поступила 30 октября 2001)

исследованы оптические размерные явления, проявляющиеся в толщинных зависимостях показателей преломления n и поглощения k, величины квазибрюстеровского угла тонких слоев золота. в интервале толщин 20 < d < 180 Å все они имеют осциллирующий характер. На основе опубликованных ранее экспериментальных данных об энергетических коэффициентах пропускания T и отражения R тонких слоев атомарных полупроводников (Se, Te, Ge, Si) выполнены новые расчеты толщинных зависимостей n и k без упрощающих предположений, приводящих к неправильным результатам. Детально проанализированы погрешности определения оптических постоянных тонких слоев по фотометрическим данным. Установлены причины допущенных ранее ошибок в работах, , посвященных такого рода исследованиям.

Ключевые слова: тонкие слои золота, селена, теллура, германия, кремния;, размерный эффект, показатель преломления, показатель поглощения.