Описан метод оптоемкостной спектроскопии и средства для его реализации. Результаты экспериментальных исследований полупроводников сопоставлены с известными данными, полученными с помощью других методов. Показаны информационные возможности и преимущества оптоемкостной спектроскопии.

Ключевые слова: спектроскопия, оптоемкостная спектроскопия, спектроскопия полупроводников, информационные возможности, полупроводники, арсенид галлия.